АО «НИИ «Полюс» им. М.Ф.Стельмаха»

Напыление интерференционных покрытий на оптические элементы методом ионно-лучевого распыления


Напыление интерференционных покрытий на оптические элементы методом ионно-лучевого распыления
Напыление интерференционных покрытий на оптические элементы методом ионно-лучевого распыления

На сегодняшний день наиболее прогрессивным и высокотехнологичным способом нанесения оптических покрытий является ионно-лучевой метод. Неоспоримыми преимуществами данного метода являются высокая адгезия покрытий, ультранизкие потери оптического излучения на рассеяние и поглощение.

Высокая адгезия

Данное преимущество достигается благодаря гораздо более высоким энергиям (от 10 до 20 эВ) осаждения атомов материалов на подложках по сравнению с традиционными методами напыления (электронно-лучевой, резистивный).

Ультранизкие потери оптического излучения на рассеяние и поглощение

Интерференционные покрытия, полученные методом ионно-лучевого распыления, обладают аморфной структурой. Отсутствие кристаллической фазы в пленках исключает Рэлеевское рассеяние на границах кристаллитов.

Для нанесения наших покрытий используются исключительно оксидные материалы. Благодаря качественно оптимизированной технологии напыления оптические покрытия обладают ультранизкими потерями оптического излучения.

Прецизионность

Это важное качество обеспечивается высочайшей стабильностью процесса вместе с использованием широкополосного оптического контроля, что позволяет напылять пленки толщиной менее 10 нм. Неравномерность по толщине слоев на всей площади напыления (диаметром 400 мм) не превышает 1%. Благодаря такой точности обеспечиваются высокие требования к сложным оптическим характеристикам покрытия.

Стабильность оптических параметров

Благодаря высокой плотности упаковки атомов физические характеристики оксидных пленок не меняются со временем. Они устойчивы к воздействию атмосферы, перепадам температур и умеренным механическим воздействиям (мойка, чистка). Это гарантирует высокую стабильность оптических характеристик покрытий, полученных в результате напыления методом ИЛР и их долговременную эксплуатацию в оптических приборах.

Схема ионно-лучевого распыления. Напыление интерференционных покрытий на оптические элементы методом ионно-лучевого распыления
Схема ионно-лучевого распыления

Измеренные оптические покрытия

Каталог оптических покрытий представлен всеми основными видами: просветляющие покрытия (включая широкополосные), высокоотражающие зеркала с ультранизкими потерями, поляризаторы (включая с высокой лучевой стойкостью), фильтры, параметрические и светоделительные покрытия.

Точные расчеты оптических характеристик и отлаженные технологии напыления позволяют изготовить продукцию любой сложности по техническому заданию заказчика.

Широкополосное просветление

Широкополосное просветление. Напыление интерференционных покрытий на оптические элементы методом ионно-лучевого распыления

λ = 600…1050 нм, Ra < 0,7%

Широкополосное просветление (график). Напыление интерференционных покрытий на оптические элементы методом ионно-лучевого распыления

Параметрическое покрытие

Параметрическое покрытие. Напыление интерференционных покрытий на оптические элементы методом ионно-лучевого распыления

λ = 780…830 нм, Ta > 99,4%

λ = 1064 нм, Ta = 99,63%

λ = 1380…1450 нм, Ta < 0,05%

Параметрическое покрытие (график). Напыление интерференционных покрытий на оптические элементы методом ионно-лучевого распыления

Зеркало с ультранизкими потерями

Зеркало с ультранизкими потерями. Напыление интерференционных покрытий на оптические элементы методом ионно-лучевого распыления

λ = 633 нм, α = 44°

Суммарные потери, ppm: Ls < 15 (при RMS = 0,1 нм), Ls < 30 (при RMS = 0,2 нм)

Зеркало с ультранизкими потерями (график). Напыление интерференционных покрытий на оптические элементы методом ионно-лучевого распыления

Поляризатор с высокой лучевой стойкостью

Поляризатор с высокой лучевой стойкостью. Напыление интерференционных покрытий на оптические элементы методом ионно-лучевого распыления

λ = 1064 нм, α = 55°, Tp = 99,776%, Ts = 0,075%

Лучевая прочность > 800 МВт/см2 при длительности импульсов 10 нс и S и P-поляризации под различными углами

Поляризатор с высокой лучевой стойкостью (график). Напыление интерференционных покрытий на оптические элементы методом ионно-лучевого распыления

Фильтр

Фильтр. Напыление интерференционных покрытий на оптические элементы методом ионно-лучевого распыления

λ = 400…480 нм, Ts < 0,05%

λ = 557…587 нм, Ts > 99,1%

λ = 680…806 нм, Ts < 0,06%

Фильтр (график). Напыление интерференционных покрытий на оптические элементы методом ионно-лучевого распыления

Контактная информация отдела продаж

E-mail: market@polyus.info
Телефон: +7 905 737-72-58

Почтовый адрес
РФ, 117342, г. Москва,
ул. Введенского, д. 3, корп. 1
Телефон и факс
Телефон:
+7 495 333-91-44
Факс:
+7 495 333-00-03
Интернет
E-mail:
bereg@niipolyus.ru
Skype:
niipolyus